фотолитогра́фия, -и
И.п. (кто? что?) | фотолитография |
Р.п. (кого? чего?) | фотолитографии |
Д.п. (кому? чему?) | фотолитографии |
В.п. (кого? что?) | фотолитографию |
Т.п. (кем? чем?) | фотолитографией |
П.п. (о ком? о чём?) | фотолитографии |
ФОТОЛИТОГРАФИЯ ж. Литография, основанная на применении фотографии (1).
(Толковый словарь Ефремовой)
(Толковый словарь Ефремовой)
фотолитография, 1)литография с использованием печатной формы, созданной на поверхности литографского камня посредством фотокопирования; оттиск, полученный с такой формы.
2)Фотолитография в планарной технологии- способ образования на поверхности полупроводникового кристалла (подложки) маски с «окнами» определённой формы и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и других электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), который после соответствующей химической обработки (вскрытия «окон») становится такой маской.
(Большой энциклопедический словарь)
2)Фотолитография в планарной технологии- способ образования на поверхности полупроводникового кристалла (подложки) маски с «окнами» определённой формы и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и других электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), который после соответствующей химической обработки (вскрытия «окон») становится такой маской.
(Большой энциклопедический словарь)